非接触表面图形

可测量表面粗糙度、精加工纹理，从高度抛光的光学件直至粗糙表面；如：扎制的钢材、铝材、纸张、塑料、陶瓷、磁体和硅晶片等。特殊的应用也可进行，例如读/写头，以及对光盘激光纹理的分析等等。

研究工作灵活，过程控制快速

使用所提供的强力MapVue绘图和分析软件，产品研发人员可获得用以优化表面纹理，形状和处理的信息。完整的绘图选项可进行三维图的绘制，剖面图的检查和打印颜色的输出。各种目镜还为科研人员提供了对表面情况直接观察的可能。一旦R&D改善了表面，仪器即可适用于生产过程控制。一个以显示器为基础的视频数字转换器，优化了的软件，以及快速的奔腾芯片可获得生产线上关键的生产率。

重要信息即时显示

MicroXAM的软件是专为工业使用设计的，从而可以满足各种使用的需要。工业标准统计法均可以储存在报告中或作为图解数据。所用的ASCⅡ数据文件是基于Birmingham大学制造的格式。极端振幅和平均振幅参数均可以进行计算，储存和显示。结构选项可使过程工程人员选择供显示的重要信息，已形成完整的报告供操作和检查。

测量特点 制作三维干涉断面图，使用光学干涉法进行定量，目视和共焦模式的操作。进行标准二维，三维表面统计包括PV值分析及Birmingham 大学制定的S参数。 软件特征 综合性图形软件可供数据获取，分析，操作和观看。可进行表面统计，包括PV值分析的计算。以傅里叶转换为基础的空间滤波工具使高低带通和带停的过滤变得容易。可进行多项式适配、数据过滤、定比率、加掩模和内插数值、互动变焦、X-Y剖面、线段剖面、作三维线图、立体图、以及作步进高程测量用的面积差测定等功能。

物理特性

备有光学显微镜及不同目镜和图象显示用的视频；计算机操作的物镜转盘使倍率转换非常便利；高分辨率的摄像机可在数分钟内测出752×480个数据点。自动调焦简化了测量。选购件包括电动工作台控制器，各种物镜以及各种放大率转轮。