MicroXAM

主要竞争对手

性能参数

分辨率

752×480像素（可选1K×1K）

752×480像素（可选1K×1K）

XYZ行程

100mm×100mm×100mm

可选：150mm×150mm×100mm

200mm×200mm×100mm

300mm×300mm×100mm

100mm×100mm×100mm

可选：150mm×150mm×100mm

200mm×200mm×100mm

300mm×300mm×100mm

RMS重复精度

标准型：1nm

高精度型：0.1nm

单波长：0.05nm或0.01nm

标准型：1nm

高精度型：0.1nm

垂直扫描范围

30um 100um 5mm10mm

最大可达15mm

垂直扫描分辨率

最小可到0.01nm

0.1nm

数据采集速度

标准型：2.1um/sec.

高速型：7.2um/sec.

7um/sec.

系统噪音

0.5埃

0.5埃

Tip-tilt调整范围

±7°

手动：±6°

电动：±4°

侧向分辨率

0.11-8.8um

0.43-11.6um

视场范围

8mm×10mm-0.084mm×0.063mm

0.04mm-14mm

校正精度

<<0.1%

<0.5%

反射率要求

1%—100%

1%—100%

价格

比国外同类产品低10%左右

售后服务

专业，优质，及时的本土服务加美国工厂的全面培训和技术支持