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电气部分：
分辨率： |
752×480像素 |
倾斜范围：±7° |
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1000×1000像素 |
摄像头旋转：±90° |
X/Y行程： |
100mm×100mm |
显示器：17″液晶 |
可选: |
150mm×150mm |
系统噪音：0.5埃 |
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200mm×200mm |
数据采集（标准）：2.1um/sec. |
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300mm×300mm |
数据采集（高速）：7.2um/sec. |
Z轴行程： |
100mm |
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放大倍率：
物镜放大倍率： |
50× |
20× |
10× |
5× |
2.5× |
数字孔径： |
0.55 |
0.40 |
0.30 |
0.13 |
0.075 |
测量范围（um）： |
165×125 |
413×313 |
827×626 |
1654×1253 |
3308×2506 |
空间取样（um）： |
0.22×0.26 |
0.55×0.65 |
1.1×1.3 |
2.2×2.6 |
4.4×5.2 |
光学分辨率： |
@550nm（um）： |
0.50 |
0.69 |
0.92 |
2.12 |
3.67 |
工作距离（mm）： |
3.4 |
4.7 |
7.4 |
9.3 |
10.3 |
调焦范围@550nm（um）： |
1.16 |
2.19 |
3.89 |
20.72 |
62.25 |
最大面倾角（EX） |
22.6 |
9.5 |
4.8 |
2.4 |
1.2 |
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性能：
RMS重复性（标准型）：1nm |
侧面取样：0.11-8.8um |
RMS重复性（高精度型）：0.1nm |
视场范围：8×10mm（@0.78x）到0.084×0.063mm（@100x） |
RMS重复性（单波长）：0.05nm或0.01nm |
垂直扫描范围：30um，100um，5mm，10mm |
最大面倾角：40°-3.2° |
反射率：1%-100% |
校正精度：<<0.1% |
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放大倍率变换：
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因素 |
50X |
20X |
10X |
5X |
2.5X |
测量范围（um） |
2X |
82X62 |
206X156 |
413X313 |
827X626 |
1654X1253 |
|
1.25X |
132X100 |
330X250 |
661X501 |
1323X1002 |
2647X2005 |
|
0.625X |
264X200 |
661X501 |
1323X1002 |
2647X2005 |
5294X4010 |
空间取样（um） |
2X |
0.11X0.13 |
0.28X0.33 |
0.54X0.64 |
1.10X1.31 |
2.2X2.6 |
|
1.25X |
0.18X0.21 |
0.44X0.52 |
0.87X1.03 |
1.76X2.09 |
3.52X4.16 |
|
0.625X |
0.35X0.41 |
0.88X1.04 |
1.74X2.06 |
3.53X4.18 |
7.04X8.32 |
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环境及设备要求：
湿度：相对湿度10-80%，无凝结 |
噪音：60dB-A |
温度：65-85℃（△T<1℃/小时） |
功率：<400W |
振动：90Hz/sec |
气压：40-80帕 |
电源要求：100VAC 60Hz，100/240VAC 50/60Hz |
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