MINI FIZ 系列干涉仪
－技术规格 －软件及附件 －English
茂莱移相 MINI FIZ与主要竞争对手 性能价格服务的比较表
MINI FIZ
主要竞争对手
性能参数
操作波长
632.8nm（可选1064nm）
空间分辨率
750×480象素（可选1K×1K，
最高2048×2048）
最高能到2048×2048
变焦范围
4X（可选6X）
6X
球面标准镜精度
λ/20
平面标准镜精度
半径测量范围
1m
视频输出
RS170标准型60Hz、650线
RS170标准型60Hz、625线
相位测量检定精度
优于λ/100 P-V
重复性
P-V 优于λ/400(2σ)
rms(均方根值)—优于λ/10000(2σ)
P-V 优于λ/300(2σ)
软件功能
单面光学平面的高程图(有微小楔形的零件)玻璃的相对厚度；
不规则性较大质量差的镜片(塑料片)测量；
镜片表面不规则性的测量；
反射镜质量和平面性测量；
精细刻尺抛光痕迹的探测；
透过透镜或平面镜的波前测量(折射率不匀和表面变形测量)；
半导体和MEMS表面测量；
硬盘表面平度和波纹计量；
角棱镜测量；
球面曲率半径的测量
多重位置分析；
球面曲率半径测量；
直角棱镜测量；
双球面测量；
3平面测量；
棱镜测量；
偏差相关角及平面楔角测量；
光学材料均匀性测量；
傅立叶变换；
价格
比国外同类产品低10%左右
服务
专业，优质，及时的本土服务加美国工厂的全面培训和技术支持
Copryright 2006 茂莱(南京)仪器有限公司