精度:
茂莱移相的Mini FIZ系列干涉仪是面向大口径高测量精度要求而设计的,其它的干涉仪在测量倾斜,焦距或者是大斜坡时存在较大误差。
高分辨率图像:
茂莱移相Mini FIZ拥有非常高的空间分辨率,不需要使用毛玻璃就能够得到非常好的对比度。正因为有一个如此强的光学系统,茂莱*移相Mini FIZ能够测试用金刚石车床加工出来的光学件的表面质量。
适应性:
茂莱移相Mini FIZ LightShift 系统采用的是一种独特的移相技术:固态的波长漂移,这比使用压电陶瓷移相的方法要好得多。LightShift 系统能够更简单的进行各种测量。
? 能够使用扩束镜增加干涉仪的测量口径。并且能够很方便的装拆镜头。
? 输出光束反射回来之后进行移相测量而不需要额外的增加移相头。
? 平行平面样板的内菲索图像也能够被测量。
? 被测件和标准平面镜之间有连接已减少震动的影响。
? 可以测量处在真空环境下的元件。
附件:
茂莱移相Mini FIZ拥有完整光学附件,标准的装夹件及面板间隔。
a&b:垂直系统的导轨及支撑。
c:垂直系统的滑动组件,供其它座架定位。
d:直角座,用来在水平系统中安装其它附件。
e:五轴调整座
f:两轴调整座
g:自定中心三爪卡盘,用来夹持被测光学件。
h:平面工作台
其它附件:
100mm-50mm插入式接头;
100mm-150mm扩束镜
光学:各种标准球面镜及标准平面镜 |